Strukturierung
Photolitographie
Kontakt- / Proximitybelichtung
– Scheibenbelackung
Nasschemisches Ätzen
- Ätzbänke für Oxid, Polysilicium und Siliciumnitrid:
- Scheibenreinigung:
Trockenätzen
- RIE-ICP-Downstream-Reaktoren für Metall, Bulk-Si und Schichtätztechnik (Oxid, Nitrid, Poly-Si):
- Lackverascher: