Ausstattung

Geräteausstattung der Lehrstuhllabore

Elektrische Messtechnik: 149 m²

• Parameteranalyzer mit Impulsgeneratoren zur Extraktion von Bauelementeparametern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser
• Halbautomatische Messprober mit thermostatisierbaren Probenhaltern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser zur Halbleiterbauelementecharakterisierung mit Nadelkarten oder Mikromanipulatoren
• Impulsgeneratoren, Oszilliskop und Spannungsquellen zur transienten elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen mit problemspezifischen Messschaltungen
• Parameteranalyzer zur statischen Messung von elektrischen Bauelementeeigenschaften für Scheiben bis 150 mm Durchmesser
• Strom- und Spannungsquellen (Oxidstabilitätsmessungen) für Proben bis 300 mm Durchmesser
• LCZ- und CRL-Meter (C/V-Messung) zur Bauelementecharakterisierung und Parameterextraktion für Scheiben bis 200 mm Durchmesser
• Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Einzelhalbleiterbauelementen beim Schalten induktiver Lasten nach der Doppelimpulsmethode bis 600V (100A)
• Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Hochleistungshalbleitern kombiniert mit Einrichtung zur orts- und zeitaufgelösten Erfassung der IR-Rekombinationsstrahlung bis 10kV (1kA)
• Elektronenstrahltestgerat zur berührungslosen ortsaufgelösten Erfassung des elektrischen Potenzials auf der Oberfläche von Halbleiterbauelementen und ICs nach Potenzialkontrastmethode
• Messplatz mit Schlifftechnik zur tiefenaufgelösten Bestimmung des Schichtwiderstands und der Dotierstoffkonzentration (Spreading-Resistance)
• Messplatz mit Sonnensimulator und Pyranometer zur elektrischen Charakterisierung von Solarzellen
• Labortische mit Modulaufsätzen für elektronische Arbeiten
• Computerarbeitsplätze zur Auswertung und graphischen Aufbereitung von Messergebnissen

Chemielabore: 64 m²

• Chemikalienabzüge und Flowboxen
• Sauerstoff- und feuchtefreie Glovebox
• Lackschleuder und Heizplatte
• Schleifapparatur zur Probenpräparation

Mechanikwerkstatt: 33 m²

• Spanende und nichtspanende Materialbearbeitung
• Feinmechanikausstattung

Geräteausstattung des Reinraumlabors

Einen Überblick über die Geräte und Anlagen der Technologiehalle des LEB entnehmen Sie bitte der Beschreibung des Reinraumlabors.