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Ausstattung

Geräteausstattung der Lehrstuhllabore

Elektrische Messtechnik: 149 m2

  • Parameteranalyzer mit Impulsgeneratoren zur Extraktion von Bauelementeparametern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser
  • Halbautomatische Messprober mit thermostatisierbaren Probenhaltern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser zur Halbleiterbauelementecharakterisierung mit Nadelkarten oder Mikromanipulatoren
  • Impulsgeneratoren, Oszilliskop und Spannungsquellen zur transienten elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen mit problemspezifischen Messschaltungen
  • Parameteranalyzer zur statischen Messung von elektrischen Bauelementeeigenschaften für Scheiben bis 150 mm Durchmesser
  • Strom- und Spannungsquellen (Oxidstabilitätsmessungen) für Proben bis 300 mm Durchmesser
  • LCZ- und CRL-Meter (C/V-Messung) zur Bauelementecharakterisierung und Parameterextraktion für Scheiben bis 200 mm Durchmesser
  • Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Einzelhalbleiterbauelementen beim Schalten induktiver Lasten nach der Doppelimpulsmethode bis 600V (100A)
  • Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Hochleistungshalbleitern kombiniert mit Einrichtung zur orts- und zeitaufgelösten Erfassung der IR-Rekombinationsstrahlung bis 10kV (1kA)
  • Elektronenstrahltestgerat zur berührungslosen ortsaufgelösten Erfassung des elektrischen Potenzials auf der Oberfläche von Halbleiterbauelementen und ICs nach Potenzialkontrastmethode
  • Messplatz mit Schlifftechnik zur tiefenaufgelösten Bestimmung des Schichtwiderstands und der Dotierstoffkonzentration (Spreading-Resistance)
  • Messplatz mit Sonnensimulator und Pyranometer zur elektrischen Charakterisierung von Solarzellen
  • Labortische mit Modulaufsätzen für elektronische Arbeiten
  • Computerarbeitsplätze zur Auswertung und graphischen Aufbereitung von Messergebnissen

Chemielabore: 64 m2

  • Chemikalienabzüge und Flowboxen
  • Sauerstoff- und feuchtefreie Glovebox
  • Lackschleuder und Heizplatte
  • Schleifapparatur zur Probenpräparation

Mechanikwerkstatt: 33 m2

  • Spanende und nichtspanende Materialbearbeitung
  • Feinmechanikausstattung

Geräteausstattung des Reinraumlabors

Einen Überblick über die Geräte und Anlagen der Technologiehalle des LEB entnehmen Sie bitte der Beschreibung des Reinraumlabors.