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    Geräteausstattung der Lehrstuhllabore

    Elektrische Messtechnik: 149 m2

    • Parameteranalyzer mit Impulsgeneratoren zur Extraktion von Bauelementeparametern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser
    • Halbautomatische Messprober mit thermostatisierbaren Probenhaltern für Scheiben bis 300 mm Durchmesser zur Halbleiterbauelementecharakterisierung mit Nadelkarten oder Mikromanipulatoren
    • Impulsgeneratoren, Oszilliskop und Spannungsquellen zur transienten elektrischen Charakterisierung von Halbleiterbauelementen mit problemspezifischen Messschaltungen
    • Parameteranalyzer zur statischen Messung von elektrischen Bauelementeeigenschaften für Scheiben bis 150 mm Durchmesser
    • Strom- und Spannungsquellen (Oxidstabilitätsmessungen) für Proben bis 300 mm Durchmesser
    • LCZ- und CRL-Meter (C/V-Messung) zur Bauelementecharakterisierung und Parameterextraktion für Scheiben bis 200 mm Durchmesser
    • Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Einzelhalbleiterbauelementen beim Schalten induktiver Lasten nach der Doppelimpulsmethode bis 600V (100A)
    • Messplatz zur dynamischen Charakterisierung von Hochleistungshalbleitern kombiniert mit Einrichtung zur orts- und zeitaufgelösten Erfassung der IR-Rekombinationsstrahlung bis 10kV (1kA)
    • Elektronenstrahltestgerat zur berührungslosen ortsaufgelösten Erfassung des elektrischen Potenzials auf der Oberfläche von Halbleiterbauelementen und ICs nach Potenzialkontrastmethode
    • Messplatz mit Schlifftechnik zur tiefenaufgelösten Bestimmung des Schichtwiderstands und der Dotierstoffkonzentration (Spreading-Resistance)
    • Messplatz mit Sonnensimulator und Pyranometer zur elektrischen Charakterisierung von Solarzellen
    • Labortische mit Modulaufsätzen für elektronische Arbeiten
    • Computerarbeitsplätze zur Auswertung und graphischen Aufbereitung von Messergebnissen

    Chemielabore: 64 m2

    • Chemikalienabzüge und Flowboxen
    • Sauerstoff- und feuchtefreie Glovebox
    • Lackschleuder und Heizplatte
    • Schleifapparatur zur Probenpräparation

    Mechanikwerkstatt: 33 m2

    • Spanende und nichtspanende Materialbearbeitung
    • Feinmechanikausstattung

    Geräteausstattung des Reinraumlabors

    Einen Überblick über die Geräte und Anlagen der Technologiehalle des LEB entnehmen Sie bitte der Beschreibung des Reinraumlabors.

     

    Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
    FAU Erlangen-Nürnberg

    Cauerstr. 6
    91058 Erlangen
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