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Lehrstuhl

Allgemeines zum Lehrstuhl

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) befasst sich mit der angewandten Forschung in den Bereichen Technologie und Fertigung elektronischer Bauelemente. Forschungsschwerpunkte des Lehrstuhls liegen bei der Entwicklung, Charakterisierung und Simulation neuer Herstellungsverfahren und Bauelemente sowie bei der Entwicklung und Optimierung von Anlagen und Materialien für die Mikro- und Nanoelektronik.

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente unterhält ein Reinraumgebäude mit einer Laborfläche von insgesamt ca. 1000 m2. Der Lehrstuhl arbeitet eng mit dem vom Lehrstuhlinhaber in Personalunion geleiteten  Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) zusammen.