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    Dotierung

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    Dotierung

    • Ionenimplantationsanlage:

      Ionenimplantationsanlage zur Modifikation von Halbleitereigenschaften (z.B. Dotierung) mittels hochenergetischer Ionen


    Horizontalöfen – Vertikalofen – Einzelscheibenreaktor

     

    • Horizontalöfen:

      Horizontalöfen zur Ausheilung von Kristalldefekten nach der Ionenimplantation und zur thermischen Aktivierung von Dotierstoffatomen


    • Vertikalofen:

      Hochtemperaturfähiger Vertikalofen (bis 1700°C) zur thermischen Ausheilung und Aktivierung der Dotierstoffe in Halbleitersubstraten (z.B. SiC)


    • Einzelscheibenreaktor:
      Lampenbeheizter Einzelscheibenreaktor zur schnellen thermischen Ausheilung von Halbleiterscheiben nach der Ionenimplantation

    Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
    FAU Erlangen-Nürnberg

    Cauerstr. 6
    91058 Erlangen
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