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Ausstattung

Auf den folgenden Seiten wird die Ausstattung des Reinraumlabors am LEB vorgestellt. Die Übersicht gliedert sich dabei nach verschiedenen Prozessmodulen:

  • Dünnschichttechnik
    • Oxidation
    • Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD)
    • Physikalische Schichtabescheidung (PVD)
    • Spin-On-Verfahren
  • Strukturierung
    • Photolithographie
    • Nasschemisches Ätzen
    • Trockeätzen
  • Dotierung
    • Diffusion (Ofentechnik, schnelles thermisches Prozessieren (RTP))
    • Ionenimplantation
  • Prozessmesstechnik
    • Schichtdickenmessung
    • Linienbreitenmessung
    • Schichtwiderstandsmessung