Dünnschichttechnik
Oxidation
- Feucht- / Trockenoxidation im Horizontalofen:
- Schnelle thermische Oxidation im Einzelscheibenreaktor:
Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD)
Physikalische Schichtabscheidung (PVD)
- Kathodenzerstäubung von Metallen, Isolatoren und amorphem Silicium:
- Elektronenstrahlverdampfen von Metallen:
Spin-on-Verfahren
- Metallische und halbleitende Nanopartikeln:
- SOG und Polyimide: