Dünnschichttechnik

Oxidation

  • Feucht- / Trockenoxidation im Horizontalofen:
    Horizontalöfen zur Herstellung dünner dielektrischer Schichten (Siliciumdioxid) durch feuchte und trockene thermische Oxidation von Silicium
  • Schnelle thermische Oxidation im Einzelscheibenreaktor:
    Lampenbeheizter Einzelscheibenreaktor zur schnellen thermischen Ausheilung von Halbleiterscheiben und zur Herstellung dünner dielektrischer Schichten mittels schneller thermischer Oxidation

Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD)

LPCVD – MOCVD

  • Chemische Dampfphasenabscheidung bei Niederdruck (LPCVD):
    Vertikalofen zur chemischen Dampfphasenabscheidung von Siliciumnitrid und Siliciumdioxid bei Niederdruck

Physikalische Schichtabscheidung (PVD)

  • Kathodenzerstäubung von Metallen, Isolatoren und amorphem Silicium:
    Anlage zur Abscheidung dünner leitfähiger und dielektrischer Schichten mittels Kathodenzerstäubung
  • Elektronenstrahlverdampfen von Metallen:
    Anlage zur Abscheidung dünner leitfähiger Metallschichten mittels Elektronenstrahlverdampfung

     

Spin-on-Verfahren

  • Metallische und halbleitende Nanopartikeln:
  • SOG und Polyimide: