Prozessmesstechnik
Schichtdickenmessung
Ellipsometrie – Interferometer – Stufenhöhenmessung – Rasterelektronenmikroskopie



Linienbreitenmessung
Lichtmikroskopie – Rasterelektronenmikroskopie – Stufenhöhenmessung



Schichtwiderstandsmessung
- Vierspitzenmessgerät:
