Prozessmesstechnik
Schichtdickenmessung
Ellipsometrie – Interferometer – Stufenhöhenmessung – Rasterelektronenmikroskopie
![](https://leb.cms.rrze.uni-erlangen.de/files/2017/10/Ellipsometer.jpg)
![](https://leb.cms.rrze.uni-erlangen.de/files/2017/10/Interferometer.jpg)
![](https://leb.cms.rrze.uni-erlangen.de/files/2017/10/Stufenhöhenmessgerät.jpg)
Linienbreitenmessung
Lichtmikroskopie – Rasterelektronenmikroskopie – Stufenhöhenmessung
![](https://leb.cms.rrze.uni-erlangen.de/files/2017/10/Lichtmikroskop.jpg)
![](https://leb.cms.rrze.uni-erlangen.de/files/2017/10/REM.jpg)
![](https://leb.cms.rrze.uni-erlangen.de/files/2017/10/Stufenhöhenmessgerät.jpg)
Schichtwiderstandsmessung
- Vierspitzenmessgerät:
![](https://leb.cms.rrze.uni-erlangen.de/files/2017/10/Vierspitzenmessgerät.jpg)