Navigation

Forschung

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) befasst sich seit 30 Jahren mit der angewandten Forschung in den Bereichen Technologie und Fertigung elektronischer Bauelemente. Bis vor einigen Jahren standen dabei die Entwicklung, Charakterisierung und Simulation von Einzelprozessen sowie die Untersuchung von Materialien für die Mikro- und Nanoelektronik auf dem Halbleitermaterial Silicium im Mittelpunkt der Aktivitäten. In den vergangenen Jahren haben sich die Forschungsschwerpunkte im Bereich der Silicium-Technologie hin zur Entwicklung und Prozessintegration von Bauelementen verschoben. Insbesondere sind die Schwerpunkte jetzt im Bereich von Bauelementen mit großer Bandlücke sowie der anorganischen Dünnschichtelektronik gesetzt.