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Reinraumlabor

Reinraumlabor                                                       © Kurt Fuchs

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente unterhält ein Reinraumgebäude mit einer Laborfläche von 600 m2 der Klasse 10 und 400 m2 der Klasse 1000. Die moderne Geräteausstattung bietet hervorragende Voraussetzungen für die anspruchsvollen Forschungsaufgaben im Bereich der Mikro- und Nanoelektronik.

Gemeinsam mit dem Fraunhofer IISB wird eine umfangreiche Prozesstechnik betrieben, die CMOS-kompatible Prozessschritte für die Fertigung von Teststrukturen und Testbauelementen in 150 mm-Siliciumtechnologie ermöglicht. Einzelne Prozessschritte sind für Scheibengrößen bis hin zu 300 mm verfügbar. Darüber hinaus betreibt der LEB eine Pilotlinie zur Fertigung von Bauelementen auf Siliciumcarbid-Substraten.

Innerhalb der Arbeitsgebiete Halbleiter- und Nanotechnologie, Halbleiterfertigungsgeräte und -methoden sowie Technologie- und Bauelementesimulation werden Forschungsarbeiten durchgeführt, die sich in der Entwicklung, Optimierung und Umsetzung von Prozessschritten der Mikroelektronik-Fertigung ergänzen. Seitens des IISB wird das Forschungsspektrum um das Arbeitsfeld Kristallzucht erweitert.

Auf allen Gebieten bestehen enge internationale Kooperationen mit anderen Forschungseinrichtungen und der Industrie.