Navigation überspringen
Zur Navigation
Zum Seitenende
Organisationsmenü öffnen
Organisationsmenü schließen
FAU
Zur zentralen FAU Website
Friedrich-Alexander-Universität
Technische Fakultät
Department Elektrotechnik-Elektronik-Informationstechnik
Geben Sie hier den Suchbegriff ein, um in diesem Webauftritt zu suchen:
Suche öffnen
en
de
Department EEI
UnivIS
StudOn
Friedrich-Alexander-Universität
Technische Fakultät
Department Elektrotechnik-Elektronik-Informationstechnik
Menu
Menu schließen
Lehrstuhl
Team
Historie
Ausstattung
Dissertationen
Portal Lehrstuhl
Forschung
Halbleiterbauelemente (AG Schulze)
Nitrid-Halbleiter (AG Schimmel)
Publikationen
Portal Forschung
Lehre
Vorlesungen
Praktika
Seminare
Studentische Arbeiten
Portal Lehre
Reinraumlabor
Bedeutung
Ausstattung
Daten & Fakten
Portal Reinraumlabor
µe-bauhaus erlangen-nürnberg
Auf einen Blick
Hintergrund
Manifest des µe-bauhaus erlangen-nürnberg
Portal µe-bauhaus erlangen-nürnberg
Startseite
Reinraumlabor
Ausstattung
Strukturierung (alternativ)
Trockenätzen
Trockenätzen
Bereichsnavigation:
Reinraumlabor
Bedeutung
Ausstattung
Dünnschichttechnik
Strukturierung
Dotierung
Prozessmesstechnik
Daten & Fakten
Trockenätzen
Allgemeine Erläuterungen zum Trockenätzen…
Anlage (Rückseite) zum trockenchemischen Ätzen von Dünnschichten mittels reaktivem Ionenplasma
Horizontalreaktor zur Entfernung von Fotolack im Sauerstoffplasma
