Laufende Arbeiten
Laufende Arbeiten am LEB
- Energie:
- Halbleitertechnologie:
Untersuchungen zu Temperatur- und Drucksensoren auf flexiblen Substraten (Masterarbeit)– Betreuer: – Beschreibung: Ziel der Arbeit ist die Herstellung und Charakterisierung von resistiven Temperatur- und kapazitiven Drucksensoren für die ortsaufgelöste Messung auf flexiblen Substraten. Als Basistechnologien kommen Vakuum-Prozesstechniken und Photolithographie- sowie Ätzverfahren zum Einsatz. Für die Handhabung der flexiblen Substrate soll ein vorhandenes Konzept mit Trägerscheiben eingesetzt werden. Nach der Definition von Zielanforderungen mit den Betreuern sollen eine Literaturrecherche zu möglichen Umsetzungen durchgeführt und Bauelementekonzepte entwickelt werden. Besonderes Augenmerk ist hier bereits auf die Auswahl der Dünnschichtmaterialien hinsichtlich Verfügbarkeit, Volumen- und Grenzflächeneigenschaften sowie Integration zu Schichtstapeln zu legen. Vorhandene messtechnische Möglichkeiten und Ausleseelektronik sollen weitgehend einbezogen werden. Im experimentellen Teil der Arbeit sollen Sensorstrukturen entworfen, angefertigt und charakterisiert werden, wobei zunächst auf bestehende Maskensätze zurückgegriffen werden kann. Die Strukturen sind anschließend hinsichtlich Verkapselung, thermischer und mechanischer Anbindung sowie der elektrischen Funktionalität zu optimieren. |
Yannik Schwarberg |
- Sonstige:
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Auslegung und Charakterisierung einer Schaltung zur Partikeldetektion in einem mikrofluidischen Coulter-Zähler (Bachelorarbeit)– Betreuer: – Beschreibung: Motivation Ziel und Inhalt – Literaturrecherche zur Partikeldetektion in Coulter-Zählern |
Fabian Sieberling |