Investigation of correlations between process data, test structure properties and device caracteristics of MOSFETs via machine learning models
Art der Arbeit
Masterarbeit
Bearbeiter
Zhifeng Huang
Beschreibung der Arbeit
Wird in Kürze eingestellt.
Ansprechpartner
Dr.-Ing. Saskia SchimmelRommel, Mathias (IISB, mathias.rommel@iisb.fraunhofer.de)
Prof. Dr.-Ing. habil. Jörg Schulze