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Ausgewählte Kapitel der Silicium-Halbleitertechnologie

Dozent/in

Details

Zeit/Ort n.V.:

Anmeldung über StudOn; Kenntnisse aus "Technologie integrierter Schaltungen" und/oder "Prozessintegration" werden vorausgesetzt.

  • Di 14:15-15:45, Raum 0.111

Studienfächer / Studienrichtungen

  • WPF ME-MA-SEM-EEI ab Sem. 3
  • WPF EEI-BA-MIK ab Sem. 5
  • WPF EEI-MA-MIK ab Sem. 1
  • WPF ME-BA-SEM ab Sem. 3

Inhalt

Ziel des Seminars ist die selbstständige Erarbeitung und schlüssige Darstellung eines Themas aus dem Gebiet der Silicium-Halbleitertechnologie.
Als Grundlage dienen dabei Literaturvorgaben der Betreuer, die durch eigene Recherchen ergänzt werden sollen. Die Teilnehmer referieren im Rahmen eines 30-minütigen Vortrags über ihre Ergebnisse.
Die Einzelthemen werden in jedem Semester aus einem anderen Schwerpunkt gewählt. In den letzten Semestern wurden beispielsweise Schwerpunktthemen wie "Bauelementetechnologien", "Mikrosystemtechnik", "Kontamination in der Halbleiterelektronik" oder "Bauelemente-, Prozess- und Anlagensimulation" behandelt.

Empfohlene Literatur

- Frey, L. und Ryssel, H.: Folien der Vorlesungen |Technologie integrierter Schaltungen| und |Prozessintegration und Bauelementearchitekturen| (am Lehrstuhl erhältlich)

ECTS-Informationen

Titel

Seminar on Selected Topics of Silicon Semiconductor Technology

Credits

2,5

Inhalt:

The objective for the seminar is to elaborate and conclusively present one topic from the general area of silicon semiconductor
technology. The supervisors provide a fundamental selection of literature, the participants are then encouraged to expand this
by independent literature research. Each participant is to deliver a 45 minute report on his/her results. The individual topics are
chosen from a different area each semester. In past semesters focus was set on "Contamination in Semiconductor Electronics"
or "Electron Device, Process and Equipment Simulation", for instance.

Literature:

- Frey, L.: |Technologie integrierter Schaltungen| and |Prozessintegration und Bauelementearchitekturen|, lecture slides (available at Chair of Electron Devices)

Zusätzliche Informationen

Erwartete Teilnehmerzahl: 10

www: https://www.studon.fau.de/crs2668034.html