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Praktika

Praktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik

Dozent/in

Details

Zeit/Ort n.V.:

  • Zeit/Ort n.V.

Studienfächer / Studienrichtungen

  • WPF EEI-BA-MIK ab Sem. 5
  • WPF EEI-MA-MIK ab Sem. 1
  • WPF ME-MA-P-EEI ab Sem. 2

Voraussetzungen / Organisatorisches

Voraussetzung: Vorlesungen Technologie integrierter Schaltungen und/oder Halbleiter- und Bauelementemesstechnik

Inhalt

Im Praktikum zur Halbleiter- und Bauelementemesstechnik wird ein Teil der in der gleichnamigen Vorlesung besprochenen Messverfahren praktisch durchgeführt. Zu Beginn des Praktikums wird die Relevanz der Messtechnik zur Prozesskontrolle aber auch in der Bauelementeentwicklung anhand eines typischen CMOS-Prozesses erläutert. Im Bereich Halbleitermesstechnik werden dann Versuche zur Scheibeneingangskontrolle, zu optischen Schichtdicken- und Strukturbreitenmessverfahren, sowie zur Profilmesstechnik durchgeführt. Im Bereich Bauelementemesstechnik werden MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren, Dioden, Widerstände und spezielle Teststrukturen elektrisch charakterisiert.

Empfohlene Literatur

- Dieter K. Schroder: Semiconductor Material and Devices Characterization, Wiley-IEEE, 2006 - W.R. Runyan, T.J. Shaffner: Semiconductor Measurements and Instrumentations, McGraw-Hill, 1998 - A.C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, CRC, 2001

ECTS-Informationen

Titel

Laboratory on Semiconductor and Device Metrology

Credits

2,5

Inhalt:

In the practical lab course in semiconductor and device metrology, some of the measurement techniques discussed in the
lecture of the same name will be performed. At the beginning of the course the relevance of metrology for process control as
well as for device development is illustrated by way of example of a typical CMOS process. In the field of semiconductor
metrology, experiments will be performed in the areas of wafer material control, optical film thickness and linewidth
measurement techniques, and profile metrology. In the field of device caracterization, MOS capacitors and MOS transistors,
diodes, resistors, and special test structures are electrically characterized.

Literature:

- Semiconductor and Device Metrology / Practical Term, laboratory documents (available at Chair of Electron Devices / available in course) - Dieter K. Schroder: Semiconductor Material and Devices Characterization, Wiley-IEEE, 2006 - W.R. Runyan, T.J. Shaffner: Semiconductor Measurements and Instrumentations, McGraw-Hill, 1998 - A.C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, CRC, 2001

Zusätzliche Informationen

Erwartete Teilnehmerzahl: 6