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Praktika

Praktikum Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente - Entfällt im Sommersemester 2021

Dozent/in

Details

Zeit/Ort n.V.:

Entfällt im Sommersemester 2021

  • Mi 8:15-11:45, Raum 0.111

Studienfächer / Studienrichtungen

  • WPF EEI-MA-MIK ab Sem. 1
  • WPF EEI-BA-MIK ab Sem. 5
  • WPF EEI-BA-LE ab Sem. 5
  • WPF EEI-MA-LE ab Sem. 1
  • WPF ME-MA-P-EEI ab Sem. 1

Voraussetzungen / Organisatorisches

Voraussetzung: Modul Technologie Integrierter Schaltungen und/oder Prozessintegration und Bauelementearchitekturen

Inhalt

Das Praktikum zur Technologie der Silicium-Halbleiterbauelemente vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation, Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Messverfahren zur Prozesskontrolle wie Schichtdickenmessverfahren, Schichtwiderstandsmessverfahren vorgestellt und zum Schluss die hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).

Empfohlene Literatur

- Frey, L.: Skripten zu den Vorlesungen |Technologie integrierter Schaltungen| und |Prozessintegration und Bauelementearchitekturen| (am Lehrstuhl erhältlich) - Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: |Photovoltaik|, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994

ECTS-Informationen

Titel

Laboratory on Silicon Semiconductor Processing

Credits

2,5

Inhalt:

The practical lab course in silicon semiconductor technology offers first insights into the practice of semiconductor technology.
In the course of the fabrication of a solar cell, the process steps of oxidation, implantation, lithography, etching, and
metallization are performed. Furthermore, important measurement techniques such as film thickness measurement and sheet
resistivity measurement techniques are presented. Finally, the manufactured solar cells are electrically characterized (efficiency
etc.).

Literature:

- Silicon Semiconductor Technology / Practical Term, lecture script (available at Chair of Electron Devices / available in course) - Frey, L.: Technologie integrierter Schaltungen and Prozessintegration und Bauelementearchitekturen, lecture scripts (available at Chair of Electron Devices) - Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994

Zusätzliche Informationen

Erwartete Teilnehmerzahl: 12

www: https://www.studon.fau.de/crs2847593.html