Erforschung der Oberflächenpräparation und der Rückgewinnung von Aluminiumnitrid-Substraten

Erforschung der Oberflächenpräparation und der Rückgewinnung von Aluminiumnitrid-Substraten

(Drittmittelfinanzierte Einzelförderung)

Titel des Gesamtprojektes:
Projektleitung:
Projektbeteiligte:
Projektstart: 1. März 2019
Projektende: 28. Februar 2022
Akronym: ERASE
Mittelgeber: Bayerisches Staatsministerium für Wirtschaft und Medien, Energie und Technologie (StMWIVT) (ab 10/2013)
URL:

Abstract

Zielsetzung ist die Entwicklung neuartiger Prozesse zur Oberflächenbearbeitung und zur
Wafer-Rückgewinnung („Wafer-Reclaim“) von einkristallinen Aluminiumnitrid (AlN)
Substraten für die industrielle Herstellung von UVC Leuchtdioden.

Das
Projekt adressiert hierbei fundamentale Problemstellungen zur Oberflächenpräparation
der AlN Substrate, die als limitierende Faktoren für die Ausbeute und
Zuverlässigkeit von Bauelemente identifiziert wurden. Weiterhin liefert die
Entwicklung einer Wafer-Rückgewinnung der AlN Substrate einen entscheidenden
Beitrag zur notwendigen Kostenreduktion bei der industriellen LED Produktion,
um den UVC LED Markt voll zu erschließen. Das Vorhaben leistet einen
wesentlichen Beitrag zur langfristigen Stärkung des Wirtschaftsstandortes
Bayern und die nationale und internationale Wettbewerbsfähigkeit bayerischer
Betriebe bei der Entwicklung opto-elektronischer Systeme für die Entkeimung und
Umweltanalytik.

Publikationen