Erforschung der Oberflächenpräparation und der Rückgewinnung von Aluminiumnitrid-Substraten
Erforschung der Oberflächenpräparation und der Rückgewinnung von Aluminiumnitrid-Substraten
(Drittmittelfinanzierte Einzelförderung)
Titel des Gesamtprojektes:
Projektleitung:
Projektbeteiligte:
Projektstart: 1. März 2019
Projektende: 28. Februar 2022
Akronym: ERASE
Mittelgeber: Bayerisches Staatsministerium für Wirtschaft und Medien, Energie und Technologie (StMWIVT) (ab 10/2013)
URL:
Abstract
Zielsetzung ist die Entwicklung neuartiger Prozesse zur Oberflächenbearbeitung und zur Wafer-Rückgewinnung („Wafer-Reclaim“) von einkristallinen Aluminiumnitrid (AlN) Substraten für die industrielle Herstellung von UVC Leuchtdioden.
Das Projekt adressiert hierbei fundamentale Problemstellungen zur Oberflächenpräparation der AlN Substrate, die als limitierende Faktoren für die Ausbeute und Zuverlässigkeit von Bauelemente identifiziert wurden. Weiterhin liefert die Entwicklung einer Wafer-Rückgewinnung der AlN Substrate einen entscheidenden Beitrag zur notwendigen Kostenreduktion bei der industriellen LED Produktion, um den UVC LED Markt voll zu erschließen. Das Vorhaben leistet einen wesentlichen Beitrag zur langfristigen Stärkung des Wirtschaftsstandortes Bayern und die nationale und internationale Wettbewerbsfähigkeit bayerischer Betriebe bei der Entwicklung opto-elektronischer Systeme für die Entkeimung und Umweltanalytik.