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    Engineering of Nanoelectronic Materials – B6 (Printed Electronics)

    Engineering of Nanoelectronic Materials - B6 (Printed Electronics)

    (Drittmittelfinanzierte Gruppenförderung – Teilprojekt)

    Titel des Gesamtprojektes: EXC 315: Neue Materialien und Prozesse - Hierarchische Strukturbildung für funktionale Bauteile
    Projektleitung: Lothar Frey
    Projektbeteiligte: Maximilian Rumler, Zeynep Meric, Sebastian Weis
    Projektstart: 1. November 2012
    Projektende: 31. Oktober 2017
    Akronym: EXC 315/2
    Mittelgeber: DFG / Exzellenzinitiative (EXIN)
    URL:

    Abstract

    In diesem Projekt werden die prozesstechnischen und bauelementephysikalischen Rahmenbedingungen für den Einsatz verschiedener Gruppe IV-Halbleiter-Nanopartikel in elektronischen Bauelementen untersucht.

    Bereits in der ersten Förderperiode wurde gezeigt, dass die Formulierung, die Abscheidebedingungen sowie die thermische Nachbehandlung entscheidenden Einfluss auf das elektrische Verhalten von Si-Nanopartikel-Dünnschichten haben. Speziell für die Unterdrückung von Oberflächeneffekten auf das Verhalten der Bauelemente wurden Passivierungsschemata entwickelt.

    In der aktuellen Periode werden die Untersuchungen auf Germanium-Nanopartikel sowie SiGe-Legierungen verschiedener Zusammensetzung ausgeweitet. Dabei stehen zunehmend übergeordnete bauelementespezifische Fragestellungen wie die Geometrieabhängigkeit der elektrischen Parameter,  die Optimierung der Metall-Halbleiter-Kontakte und die Integration mehrerer Bauelemente zu funktionellen Grundgattern im Vordergrund. Ergänzend werden photonische Sinterverfahren zur Modifikation der interpartikulären Kontakte adressiert.

     

    Publikationen

      Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
      FAU Erlangen-Nürnberg

      Cauerstr. 6
      91058 Erlangen
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