Flüssigphasenprozessierung von Silicium-Dünnfilmen und elektronischen Bauelementen basierend auf Polysilan-Präkursoren
Flüssigphasenprozessierung von Silicium-Dünnfilmen und elektronischen Bauelementen basierend auf Polysilan-Präkursoren
(Drittmittelfinanzierte Einzelförderung)
Titel des Gesamtprojektes:
Projektleitung:
Projektbeteiligte:
Projektstart: 15. März 2014
Projektende: 14. März 2017
Akronym: FR 713/9-1
Mittelgeber: DFG-Einzelförderung / Sachbeihilfe (EIN-SBH)
URL:
Abstract
Im beantragten Vorhaben wird die Abscheidung von Silicium-Dünnfimen aus gelösten und formulierten Polysilan-Präkursoren für den Einsatz in elektronischen Bauelementen untersucht. Gegenüber anderen anorganischen Materialsystemen aus der Flüssigphase verspricht die Herstellung von Silicium-Dünnfilmen Vorteile hinsichtlich fundamentaler Materialeigenschaften (Beweglichkeiten, Lebensdauern), Stabilität und Zuverlässigkeit sowie der Beeinflussbarkeit von Materialparametern (z.B. Dotierung). Die wissenschaftliche Herausforderung des Vorhabens besteht in signifikanten Verbesserungen in
- der Reproduzierbarkeit und Ausbeute bei der Synthese von Cyclosilan- und Polysilan-Lösungen für Aufschleuder, Sprüh- oder Druckverfahren,
- der Funktionalität der Silanmoleküle.
- durch die Untersuchung thermischer und photonischer Ausheilverfahren mit deutlich verringertem Energieeintrag in das Substrat für den Einsatz auf technischen Gläsern oder Plastikfolien, sowie
- durch den Transfer von Techniken zur metallinduzierten Kristallisation amorpher Siliciumfilme auf die Zielssteme. Hierbei werden die nachträgliche, metallinduzierte Kristallisation Polysilan-basierter amorpherSiliciumschichten sowie Möglichkeiten zur Einbringung der katalytisch aktiven Spezies bei Molekülsynthese oder Tinten-Formulierung untersucht.
Publikationen
From Cyclopentasilane to Thin-Film Transistors
In: Advanced Electronic Materials 7 (2021), S. 1-13
ISSN: 2199-160X
DOI: 10.1002/aelm.202000422 , , , , , , , , , , , , , , :