Laufende studentische ArbeitenBA: Vergleich von TLM- und CBKR-Teststrukturen zur Bestimmung des spezifischen Kontaktwiderstandes mithilfe einer Datenbank
Hanna Arslaner — Gegenstand dieser Bachelorarbeit ist die analytische Auswertung von Teststrukturen zur Bestimmung der spezifischen Kontaktwiderstände auf n- und p-dotiertem 4H-SiC. Um eine systematische Vergleichbarkeit zwischen TLM- und CBKR-Strukturen aus verschiedenen Prozessen zu ermöglichen, wird zunächst eine Datenbankstruktur zur Integration uneinheitlicher Rohdaten (Excel, TXT, CSV) entwickelt. Die wissenschaftliche Eigenleistung besteht darin, diese Messwerte mit […]Hanna Arslaner — Gegenstand dieser Bachelorarbeit ist die analytische Auswertung von Teststrukturen zur Bestimmung der spezifischen Kontaktwiderstände auf n- und p-dotiertem 4H-SiC. Um eine systematische Vergleichbarkeit zwischen TLM- und CBKR-Strukturen aus verschiedenen Prozessen zu ermöglichen, wird zunächst eine Datenbankstruktur zur Integration uneinheitlicher Rohdaten (Excel, TXT, CSV) entwickelt. Die wissenschaftliche Eigenleistung besteht darin, diese Messwerte mit […]
