Abgeschlossen 2025MA: Modellierung mikrospektroskopischer Reflektanz- und Transmittanzmessungen zur Brechungsindex-Bestimmung
Johannes Bauer – Diese Arbeit handelt von der Modellierung von Mikrospektroskopiemessungen. Das Ziel ist, erstmals die komplexen Brechungsindizes eines Materials aus dessen Reflektanz- und Transmittanzspektren zu bestimmen. Der von der Mikrospektroskopie ermöglichte kleine Messfleck erlaubt die Untersuchung von Proben mit lateralen Dimensionen im Mikrometerbereich, was diese zu einer für die Mikroelektronik interessanten Charakterisierungsmethode macht. Ausgehend […]Johannes Bauer – Diese Arbeit handelt von der Modellierung von Mikrospektroskopiemessungen. Das Ziel ist, erstmals die komplexen Brechungsindizes eines Materials aus dessen Reflektanz- und Transmittanzspektren zu bestimmen. Der von der Mikrospektroskopie ermöglichte kleine Messfleck erlaubt die Untersuchung von Proben mit lateralen Dimensionen im Mikrometerbereich, was diese zu einer für die Mikroelektronik interessanten Charakterisierungsmethode macht. Ausgehend […]