MA: Investigation of correlations between process data, test structure properties and device caracteristics of MOSFETs via machine learning models

Zhifeng Huang

Art der Arbeit:

Masterarbeit

Status:

laufend

Kontakt:

Rommel, Mathias

(IISB, mathias.rommel@iisb.fraunhofer.de)

SSc

Dr.-Ing. Saskia Schimmel

Wissenschaftliche Mitarbeitende

Kontakt

JS

Prof. Dr.-Ing. Jörg Schulze

Professorinnen und Professoren

Kontakt