Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente unterhält gemeinsam mit dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) ein Reinraumlabor mit einer Fläche von 600 m2 der Reinraumklasse 100 und 400 m2 der Klasse 10.000. Die moderne Geräteausstattung bietet hervorragende Voraussetzungen für die anspruchsvollen Forschungsaufgaben im Bereich der Leistungs-, Mikro- und Nanoelektronik.
Gemeinsam mit dem Fraunhofer IISB wird eine umfangreiche Prozesstechnik betrieben, die CMOS-kompatible Prozessschritte für die Fertigung von Teststrukturen und Bauelementen in 150 und 200 mm-Siliciumtechnologie ermöglicht. Einzelne Prozessschritte sind für Scheibengrößen bis hin zu 300 mm verfügbar. Darüber hinaus betreiben LEB und IISB eine Prozesslinie für die Herstellung von Bauelementen auf Siliciumcarbid-Substraten.
Auf allen Gebieten bestehen enge internationale Kooperationen mit anderen Forschungseinrichtungen und der Industrie.