Forschung

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) forscht auf den Bereichen Halbleitertechnologie und Halbleitertechnik. Im Bereich „Halbleitertechnologie“ werden grundlegende Fragestellungen zu Herstellungsmethoden und -verfahren sowie der Integration neuer Materialien adressiert. Die Kompetenzfelder erstrecken sich von der Synthese neuer Halbleitermaterialien bis zur Entwicklung und Optimierung komplexer Prozesssequenzen im Reinraumlabor der FAU

Im Forschungsbereich „Halbleitertechnik“ stehen die Untersuchung, Erforschung und Optimierung moderner Bauelementkonzepte und -architekturen im Vordergrund. Erforscht werden fortschrittliche Halbleiterbauelemente für die Leistungselektronik, Quantenelektronik und photonische Anwendungen.

Im Fokus stehen Prozesse und Bauelemente auf Basis von Halbleitern mit hoher und ultra-hoher Bandlücke wie Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN) und Aluminiumnitrid (AlN). Neben umfassenden Analyse- und Charakterisierungsmethoden stehen am LEB umfangreiche Tools für die Prozess- und Bauelementsimulationen zur Verfügung. Auf allen Gebieten findet eine intensive Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) statt. Die Forschungsfelder spiegeln sich auch im Lehrangebot des LEBs wider.