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Vorlesungen

Halbleiter- und Bauelementemesstechnik

Dozent/in

Details

Zeit/Ort n.V.:

  • Mo 8:15-11:45, Raum Hans-Georg-Waeber-Saal
  • Mo Zeit n.V.

Studienfächer / Studienrichtungen

  • WPF WW-DH-MIC ab Sem. 6
  • WPF EEI-BA-MIK ab Sem. 5
  • WPF EEI-MA-MIK ab Sem. 1
  • WF EEI-BA ab Sem. 5
  • WF EEI-MA ab Sem. 1
  • WPF ME-BA-MG4 ab Sem. 5
  • WPF ME-MA-MG4 ab Sem. 1
  • WPF MWT-MA-MIC ab Sem. 1
  • WF MWT-BA ab Sem. 5
  • WPF NT-MA ab Sem. 1
  • WPF BPT-MA-E ab Sem. 1

Inhalt

In der Vorlesung Halbleiter- und Bauelementemesstechnik werden die wichtigsten Messverfahren, die zur Charakterisierung von Halbleitern und von Halbleiterbauelementen benötigt werden, behandelt. Zunächst wird die Messtechnik zur Charakterisierung von Widerständen, Dioden, Bipolartransistoren, MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren behandelt. Dabei werden die physikalischen Grundlagen der jeweiligen Bauelemente kurz wiederholt. Im Bereich Halbleitermesstechnik bildet die Messung von Dotierungs- und Fremdatomkonzentrationen sowie die Messung geometrischer Dimensionen (Schichtdicken, Linienbreiten) den Schwerpunkt.

Empfohlene Literatur

Vorlesungsskript

ECTS-Informationen

Titel

Semiconductor and Device Measurement Techniques

Credits

5

Inhalt:

The lecture Semiconductor and Device Measurement Techniques deals with the fundamental methods used to characterize
semiconductors and semiconductor devices. First, the measurement techniques needed to characterize resistors, diodes,
bipolar transistors, MOS capacitors, and MOS transistors are presented. The fundamental properties of each device are
repeated briefly. In the area of semiconductor metrology, measurement of dopand distributions, contaminant analysis, and
measurement of geometric dimensions (film thickness, line width) are emphasized.

Literature:

Ryssel, H.: Halbleiter- und Bauelementemeßtechnik, lecture script (available at Chair of Electron Devices / available in course)

Zusätzliche Informationen

Schlagwörter: Halbleiterbauelemente, Messtechnik

Erwartete Teilnehmerzahl: 40