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Prozess- und Bauelemente-Simulation

Dozent/in

Details

Zeit/Ort n.V.:

Online-Vorlesung, Zugangsdaten nach Anmeldung bei juergen.lorenz@iisb.fraunhofer.de. Zur Lehrveranstaltung werden freiwillige Übungen angeboten, ebenfalls online.

  • Do 16:00-17:30

Studienfächer / Studienrichtungen

  • WF EEI-BA ab Sem. 5
  • WF EEI-MA-MIK ab Sem. 1
  • WF EEI-MA ab Sem. 1

Inhalt

In der Halbleitertechnologie wird eine Vielzahl von Prozessschritten zur Herstellung der Bauelemente verwendet. Aufgabe der Prozesssimulation ist die Voraussage vor allem der Geometrien und Dotierungsverteilungen dieser Bauelemente, woraus dann mithilfe der Bauelementesimulation die elektrischen Eigenschaften abgeleitet werden können. Insgesamt dient die Simulation dem besseren Verständnis der Prozesse und Bauelemente sowie der Reduktion der Entwicklungszeiten und –kosten.

In dieser zweistündigen Vorlesung werden die zur Beschreibung der einzelnen Prozessschritte verwendeten physikalischen Modelle dargestellt, wobei sowohl auf die historische Entwicklung als auch auf den aktuellsten Stand der Forschung eingegangen wird. Zur Auswertung dieser Modelle in ein- und mehrdimensionalen Simulationsprogrammen benötigte Algorithmen werden zusammengefasst. Anhand von Anwendungsbeispielen werden spezielle technologische Effekte und ihre simulationsmäßige Beschreibung diskutiert. Desweiteren werden die Grundlagen der Bauelementesimulation dargestellt. Die Vorlesung schließt mit einer Bestandsaufnahme der in der Industrie verbreitetsten Prozesssimulationsprogramme sowie einem Ausblick auf die weitere Entwicklung des Gebiets sowie seiner Anwendungen.

ECTS-Informationen

Titel

Process and Device Simulation

Credits

2,5

Zusätzliche Informationen

Schlagwörter: Halbleitertechnologie Bauelemente Simulation

Erwartete Teilnehmerzahl: 10