Realisierung von Koppelkondensatoren für Betriebsspannungen über 1200V durch Integration von Parallelwiderständen

Realisierung von Koppelkondensatoren für Betriebsspannungen über 1200V durch Integration von Parallelwiderständen

(Drittmittelfinanzierte Einzelförderung)

Titel des Gesamtprojektes:
Projektleitung:
Projektbeteiligte:
Projektstart: 1. Januar 2016
Projektende: 15. Februar 2017
Akronym: Koppelkondensatoren
Mittelgeber: Industrie
URL:

Abstract

Ziel der Kooperation ist es die bestehende Technologie zur Herstellung von monolithisch integrierten Kondensatoren in Silizium für Einsatzspannungen bis 600 V weiterzuentwickeln, so dass sich der Spannungsbereich in Richtung eines Einsatzes bei 1200 V vergrößern lässt. Zudem wird in dem Projekt untersucht, inwiefern eine monolithische Integration von Parallelwiderständen möglich ist, um Kondensatoren in Reihe schalten zu können. Zur Weiterentwicklung der Kondensatoren für 600 V, aber auch für 1200 V, sollte weiterhin auf die bewährten Technologien (Oberflächen- und Kapazitätsvergrößerung durch tiefe Löcher) und Materialien (Siliziumoxid und Siliziumnitrid als Dielektrikum) zurückgegriffen werden.

Publikationen